L’ellipsométrie spectroscopique est une technique optique sensible à la surface, non destructive et non intrusive largement utilisée pour les couches minces et la caractérisation de surface . Il est basé simplement sur le changement de l’ état de polarisation de la lumière telle qu’elle est réfléchie obliquement par un échantillon de film mince. Selon le type de matériau, les ellipsomètres spectroscopiques peuvent mesurer des épaisseurs de quelques Å à des dizaines de microns. C’est également une excellente technique pour la mesure multicouche .
L’ellipsométrie spectroscopique est une technique optique sensible à la surface, non destructive et non intrusive largement utilisée pour les couches minces et la caractérisation de surface . Il est basé simplement sur le changement de l’ état de polarisation de la lumière telle qu’elle est réfléchie obliquement par un échantillon de film mince. Selon le type de matériau, les ellipsomètres spectroscopiques peuvent mesurer des épaisseurs de quelques Å à des dizaines de microns. C’est également une excellente technique pour la mesure multicouche .